| 用于在多束扫描电子显微镜系统中降低噪声的方法和系统 |
| US15267223 2016-9-16 发明申请 |
| 2017-3-23 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜系统。 该系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 SEM子系统包括配置成产生多个电子束的多束电子束源、配置成固定样品的样品台、电子光学组件和配置成检测从样品表面发出的多个电子信号束以形成多个图像的检测器组件，每个图像与多个电子束中的电子束相关联。 所述系统包括控制器，所述控制器被配置为从所述检测器组件接收所述图像，比较所述图像中的两个或多个以识别存在于所述两个或多个图像中的公共噪声分量，并从所述多个图像中的一个或多个图像移除所识别的公共噪声分量。 |
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