| 用于多束扫描电子显微镜系统的焦点调节的方法和系统 |
| US15272194 2016-9-21 发明申请 |
| 2017-3-23 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜系统。 该系统包括多束扫描电子显微镜(SEM)子系统。 SEM子系统包括配置成形成多个电子束的多束电子源、配置成固定样品的样品台、将电子束引导到样品的一部分上的电子光学组件、以及配置成同时采集样品表面的多个图像的检测器组件。 该系统包括控制器，该控制器被配置为从检测器组件接收图像，通过分析图像的一个或多个图像质量参数来识别图像的最佳聚焦图像，并指导多透镜阵列基于与所识别的最佳聚焦图像相对应的电子束的聚焦来调节一个或多个电子束的聚焦。 |
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