| 用于基因测序仪的压力传感器 |
| CN202320230076.8 2023-2-16 实用新型 |
| 2023-6-30 |
| 本实用新型公开了一种用于基因测序仪的压力传感器,包括芯体、封装体;封装体开设有流入通道、流出通道、封装槽;芯体安装在封装槽内并与所述封装槽的内壁共同围合形成腔体;所述腔体的内壁上设有沿着第一方向延伸的凸台,所述凸台与所述腔体的内壁共同围合形成流体通道,所述流体通道沿着所述第一方向上的高度从凸台的四周向凸台的中央区域递减;流入通道和流出通道均具有与流体通道连通的通道口,流入通道的通道口位于流体通道的上游,流出通道的通道口位于流体通道的下游,所述凸台的中央区域位于所述流出通道的通道口和所述流入通道的通道口之间。本实用新型的用于基因测序仪的压力传感器可以避免死体积区域的形成,保证测序效果的准确。 |