一种技术,用于照明待检样品的干涉显微镜
 
WOEP15070630  2015-9-9  发明申请

2017-3-16
 
  聚光透镜,一个干涉显微装置基于所述基于所述聚光透镜聚光透镜和方法被呈现。所述的聚光透镜照射光束从照明源在待检验的样品干涉显微检测装置。从照明光源第一的光束的波前。所述聚光透镜包括非冷凝区和冷凝区。非聚光区域接收所述光束从照明源第一份,将第一部分定向于样品。第一的一部分传送的光束第一的波前。所述冷凝区接收所述光束从照明源第二份,将第二份,定向于样品。第二的一部分传送的光束第二的波前。第一波前第二不同波前。
 
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