| 扫描探针显微镜 |
| WOJP15075806 2015-9-11 发明申请 |
| 2017-3-16 |
| 本发明提供了一种测量扫描探针显微镜的可设定单位距离“，以拼”适合的表面样品形状。该扫描探针显微镜(1)具有 : 控制单元(50)，控制XY运动控制机构和Z轴微调元件(32)B，获取的信息，以测量范围内的样品S的表面；和存储单元42，用于存储设定的停止条件停止探针(21)和试样S从彼此接近的方向移动，探针21和一组释放距离的距离和试样S被移离相互连接。所述控制单元(50)继续输出的Z轴微调运动元件(22)的控制信号，使所述探针(21)或试样S的这种接近的方向移动，直到设置停止条件成立时，和，设定的停止条件成立后，输出端和所述Z轴微调运动元件(32)b的控制信号，使探头21或样品S离开另在z方向，只使用设定的释放距离，B之后，输出到所述控制机构32控制信号进行以进行下一次的测量样品测量范围内测量点S。 |
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