| 一种基于扫描电镜的高分辨率晶体取向获得方法 |
| CN201610919156.9 2016-10-21 发明申请 |
| 2017-3-15 |
| 本发明提供了基于扫描电镜的高分辨率晶体取向获得方法，步骤为：1、利用电火花线切割方式制得300μm~500μm厚的金属样品；然后用金相砂纸逐级打磨减薄至100μm以下；在 10 °C~ 40 °C下，在电解液中使用电解双喷仪在电压为10V~25V的条件下进行电解双喷减薄30s~200s；2、将金属样品置于预倾样品台中装夹固定，样品与电子束倾角 20°~0°、加速电压15kV~30 kV、工作距离5mm~9mm进行参数采集。本发明在扫描电镜的平台下在晶体取向分析方面实现了显著优于常规背散射电子衍射技术的空间分辨率及角分辨率；还具有设备简单、操作方便、技术可靠、数据采集效率高、易于处理分析和可重复性好等优点。 |
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