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一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统
CN201611245753.4 2016-12-29 发明申请
2017-3-15
本发明涉及一种基于光纤的原子力显微镜探头及原子力显微镜系统,基于光纤的原子力显微镜探头包括探针和微悬臂梁,探针位于微悬臂梁的一端,所述微悬臂梁位于光纤的一端,微悬臂梁通过一连接臂与光纤一端面之间形成光纤F P腔,微悬臂梁用来感应探针与样品之间距离的变化,当微悬臂梁发生形变引起所述光纤F P腔的腔长发生变化时,反射光强度被光纤F P腔所调制。
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