扫描电镜测试板状样品的载物台
 
CN201621046933.5  2016-9-9  实用新型

2017-3-15
 
  本实用新型提供一种扫描电镜测试板状样品的载物台,包括可导电的载物台本体,载物台本体上开设有容置槽,容置槽用于容纳嵌装有待测板状样品的可导电承载座,容置槽的形状与可导电承载座的形状匹配,载物台本体的上表面还设有用于测量待测板状样品所处位置的刻度标记。在对待测样品进行测试时,直接将嵌装有待测样品的可导电承载座放入容置槽中即可,避免了直接将样品放置在载物台上方而导致载物台过高的情况出现,且使样品得以很好的固定,然后通过载物台本体上的刻度标记记录待测样品所处的位置,在测试过程中移动载物台时,可根据刻度数据定位观测的区域,从而提高了板状样品的扫描电镜测试的方便性和定位的精准性。
 
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