电子闪烁探测器包括其的显微镜和电子显微镜
 
KR1020160150962  2016-11-14  发明申请

2017-3-9
 
  本发明涉及STEM图像监控以极佳的灵敏度和信噪比使用荧光闪烁检测器(检测器)根据多个环形区域,所述高分辨率图像能够快速获取,半透明分布是否涉及一种荧光检测器,亮场图像的暗场从所述载波信号产生的光信号通过电子检测观察颜色的混合光分离的光透过导光部用于与高分辨率成为可能。此外,所述反向散射电子的3维图像照射荧光检测器或对称的四路对称体显微镜可以获得公务包括 : 检测器,这些检测次数的下基板。
 
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