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高度测量的系统和方法通过数字全息显微镜
KR1020150118254 2015-8-21 发明申请
2017-3-3
所述高台阶差测量系统,包括数字全息显微镜使用根据本发明的一个实施例中,通过不同的波长的波长不会干扰合成波压力和连续波的波长高频发射器,所述参考光束路径(R)(o)发射的测量光束的合成波路输出分为凸梁,(o)所述输出样本的测量光束路径指向镜合成的反射光波,被所述样品通过所述物镜和物镜和所述合成的进入表面由该合成波的图像捕获相机。
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