| 电子显微镜用样品室和包括其的电子显微镜 |
| KR1020150117737 2015-8-21 发明申请 |
| 2017-3-2 |
| 本发明涉及一种真空样品室用于粒子光学装置，真空样品室，包括 : 在其一个表面上，一种开孔，通过该粒子射束被聚焦的颗粒沿着光轴(例如电子，入射的离子和中性粒子；在其相对的表面上，可装卸式样品架通过出，从而使待检样品的观察和分析通过该粒子射束，光。本发明实现的 : 样品室能够减少观测时间保持真空状态，即使当试样放入或取出样品室的观察电子显微镜或聚焦离子束设备，可获得光图像在无需插入外部光源或光筒进入样品室；和光-电子融合显微镜，包括样品室。 |
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