| 扫描探针显微镜及其光轴调整方法 |
| US15249474 2016-8-29 发明申请 |
| 2017-3-2 |
| 一种扫描探针显微镜，包括 : 悬臂； 悬臂支撑部分； 移动所述悬臂的位置的移动机构； 发射检测光光源； 检测器，其接收在所述悬臂的反射表面上反射的所述检测光； 物镜； 以及控制器，其控制所述移动机构以执行处理，所述处理包括 : 检测所述检测光的聚光灯的聚光灯位置； 从由所述成像装置捕获的图像检测所述悬臂的位置； 以及基于光斑位置、悬臂的位置、检测光的入射角和附接角来控制移动机构，使得当悬臂附接至悬臂支撑部分时检测光在反射表面上反射。 |
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