| 纳米孔系统和制造方法 |
| WOUS22049414 2022-11-9 发明申请 |
| 2023-5-19 |
| 公开了用于测序生物聚合物的系统和制造所述系统的方法。 在一个实例中，这样的系统可以包括专用集成电路(ASIC)层、AISC层下方的柱阵列层和ASIC层上方的纳米孔层。 通过在半导体晶片的前侧上构建有源电路并抛光所述半导体晶片的后侧来形成所述ASIC层。 所述柱阵列层通过蚀刻支撑衬底的前侧形成，并且所述柱阵列层向所述ASIC层提供机械支撑。 所述纳米孔层包含膜和纳米孔。 膜抑制水溶性分子通过，纳米孔允许水溶性分子通过。 在一些实施例中，系统可以具有延伸穿过ASIC层的短的衬底通孔。 在一些实施例中，在制造系统时可以使用晶片接合工艺。 |
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