| 用于扫描探针显微镜的固定机构驱动的主动力,不需工具,可拆卸固定在测量探头 |
| JP2016160605 2016-8-18 发明申请 |
| 2017-2-23 |
| 所要解决的问题 : 本发明提供的固定装置能够处理测量简单,并且避免了探针的扫描探针显微镜损伤,其包括固定装置(20)包括 : 插入部(22),其中测量探头11可插入;主单元(34),用于选择性地施加主固定机构(24)致动的无需工具的力;及固定机构(24)致动的无需工具,利用主单元(34),用于分离和/或固定的测量探头11插入到插入部22。所述固定装置(20)选择性地将所述测量探头(11)的扫描探针显微镜。被选择的图样,图2的工序(C)2017,&耕作方法 |