| 大视场大气扫描电子显微镜 |
| WOAU16050757 2016-8-16 发明申请 |
| 2017-2-23 |
| 大气在扫描电子显微镜获得宽的视场中的低倍率宽范围的气体压力，加速电压，图像分辨率。本发明是基于使用减小的尺寸与扫描光束的枢转点压强限制孔位于电子光学柱的端部小孔。一种第二孔位于物镜的主平面。双梁偏转元件扫描岩在枢轴点第一处或其附近的主平面的偏转装置扫描镜片的眼镜后侧面和岩石梁上并在其第二处的枢转点或其附近在光学圆柱端处的开孔。孔径在第一枢轴可兼作限束孔。在替代方案中，无梁限位开口，在该主面上，最大数量的束光经过所述透镜与后透镜偏转的装置，该波束形成的(限制)处或其附近非常小的孔径与最终的同时在其下方孔的宽波束的时候，变速部分，它在物理主平面上的支点摆动，但具有明显的上方枢转点闭合，所述孔，所有这些导致在宽视场在被检标本。 |
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