| 一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统 |
| CN201611129044.X 2016-12-9 发明申请 |
| 2017-2-22 |
| 本发明公开了一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统。其中，温控样品台包括台面板、样品池和温控室。样品池设于台面板上，内固定有测温探头；测温探头外接有测温接头。温控室设于台面板下方，为样品池正下方的腔体，内设有半导体温控片和散热盘管。半导体温控片外接有温控接头。散热盘管外接有进水接头和出水接头。温控系统由温度测控仪、蠕动泵以及上述的温控样品台组成。温度测控仪连接测温探头和半导体温控片。蠕动泵连接散热盘管。本发明由于样品池尺寸本身很小，因此，温度调整快捷，并且目标温度控制精确，而且能耗小。 |
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