谐波反馈原子力显微镜
 
US15229515  2016-8-5  发明申请

2017-2-9
 
  谐波反馈原子力显微镜(HF-AFM)包括基于提取的探针响应信号的频率分量来调节振荡探针原子力显微镜(AFM)中的反馈。 常规振荡探针AFM中的反馈使用探针响应信号作为整体(或至少探针响应信号的驱动频率分量)。 HF-AFM的提取频率分量的提取频率通常不同于产生探头振荡的任何实质上被驱动的频率,并且可以是被驱动频率的谐波。 所述调节可包括响应于所提取的频率分量的强度或弱点,使得所提取的频率分量的减弱(或加强)正向地有助于平均针尖-样本距离的减小(或增加),并且负向地有助于平均针尖-样本距离的增加(或减少)。
 
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