产业集群信息网

产业专利数据

基于测距的实时扫描电子显微镜非可视化垃圾桶

US15227698 2016-8-3 发明申请

2017-2-9

一种识别非视觉缺陷，例如SEM非视觉缺陷(SNVs)的技术，包括生成晶片层的图像，使用分类器评估图像的至少一个属性，以及识别晶片层上的非视觉缺陷。控制器可以被配置成使用分类器来识别非视觉缺陷。该控制器可以与缺陷检查工具(例如扫描电子显微镜(SEM))通信。