| 采用等离子体中和的电子显微镜装置 |
| CN201610991295.2 2016-11-10 发明申请 |
| 2017-2-1 |
| 本发明涉及一种采用等离子体中和的电子显微镜装置，包括电子枪、聚焦透镜、扫描线圈、探头及成像显示系统，所述的聚焦透镜将电子枪发射的电子束聚焦在真空腔内的待测样品上，探头收集检测被激发的二次电子或光子，经成像显示系统处理数据形成图像，其中，真空腔内设有等离子体发生装置，在电子显微镜工作过程中，等离子体发生装置产生等离子体中和待测样品表面积累的电荷。本发明避免了样品表面积累的电荷对电子显微镜观测的影响，同时避免了其它电荷积累解决方法的不利影响。 |
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