| 用于扫描探针显微镜的探针及其制造方法 |
| JP2015136715 2015-7-8 发明申请 |
| 2017-1-26 |
| [问题]的空间分辨率和电导率探头用于扫描探针显微镜的探针具有碳纳米管，和它们的混合物的特性可以再现性良好地得到探针的方法。[解决方法]一种芯片，该芯片包含探针的扫描探针显微镜尖端伸出的探针，该探头由碳纳米管，碳纳米管的顶端为一个突起，所述芯片固定有固定件，所述固定部固定于所述芯片的一侧的面上的碳纳米管，所述固定部件的制造工艺中使用的含碳纳米管的催化剂，用于扫描探针显微镜的探针。图[图3] |
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