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显微镜
JP2015140026 2015-7-13 发明申请
2017-1-26
[问题]为了快速,可靠的检测到任何物体与物镜接触的技术。[解决手段]将显微镜装置100,所述物镜(12),所述超声波发生器(15)产生超声振动,所述超声波发生器(15)产生的超声波检测器16检测到的振动传播通过所述物镜(12),12根据所检测到的振动的超声波检测器16检测到的物镜(30)的接触包括一个计算装置。图[图1]
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