| 扫描电子显微镜进行观测样品的方法及其使用 |
| KR1020150101358 2015-7-17 发明申请 |
| 2017-1-26 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括 : 电子源发射的电子束；聚焦透镜组靠近所述电子束源，包括 : 一个或多个中间聚焦透镜聚焦的电子束；和物镜作为最终的聚焦透镜放置在样品附近并且形成电子光束光点，其被聚焦在样品上；真空室内部具有电子源和聚焦透镜组，并且还具有孔，它是一种电子束通过的通道，它发出的电子束源，通过物镜照射到样品上；一个或多个偏转器，其对控制和改变电子束的照射方向；支撑该样品被观察样品扫描装置，其能够精确地水平移动的样品；和样品台，样品放置在底部扫描器，其能够水平使所述样品与样品扫描仪在一起。本发明的目的是提供一种扫描电子显微镜的可识别区域的位置感兴趣的感兴趣区域和精确地观察到。版权kipo Br>2017< |
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