| 紧凑型探针用于原子力显微镜，原子力显微镜，由所述探针 |
| WOEP16066549 2016-7-12 发明申请 |
| 2017-1-26 |
| 本发明涉及一种用于原子力显微镜探针包括用于原子力显微镜尖端(PT1)取向一种所谓纵向方向(Y)上伸出的基材(S1)的边(b)在所述纵向方向，其特征在于，所述端头安装在梭子(pj1)的一端连接到所述基板至少通过第一和第二(R，Ra)所谓的支撑结构，至少所述第一支撑结构为柔性结构，在所谓的横向延伸方向垂直于所述纵向方向(X)，和被锚固在所述基板的至少一个机械连接在所述横向方向上，所述支撑结构适于允许所述梭的纵向移动。本发明还涉及一种原子力显微镜，其包括至少一个这样的探针。 |
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