| 扫描电镜样品可获得的光学图像 |
| WOKR16007110 2016-7-1 发明申请 |
| 2017-1-26 |
| 本发明涉及一种扫描电子显微镜，包括 : 照射电子束的电子束源；一种聚光透镜组包括至少一个中间聚光透镜，其设置成邻近所述电子束的电子束源和冷凝，和物镜，其提供，作为最后一个聚光透镜，邻近所述样品并形成电子束光点，其凝结在样品；真空室包括电子束源和聚光透镜组在其内部，具有穿孔，该穿孔被照射的电子束通道从电子束源被通过物镜照射到样品；至少一个偏转器，用于控制和改变电子束的照射方向；和用于支撑待观察样品的样品台。 |
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