| 原位光电多功能耦合原子力显微镜测试系统 |
| CN201610884303.3 2016-10-10 发明申请 |
| 2017-1-25 |
| 本发明公开了一种原位光电多功能耦合原子力显微镜测试系统，包括光电器件的光源与伏安测试系统、多功能探针原子力显微镜系统和气氛保护系统。光电器件的光源与伏安测试系统包括夹具、光源和数字源表；多功能探针原子力显微镜系统包括多功能探针、激光发射器、激光光斑位置检测器、激光检测器、数据引出线和电脑显示器；气氛保护系统包括箱体、进气出气装置、螺旋式气流形成装置、温湿控制装置、气体存放装置、咬合设计推拉门和观察窗。本发明的优点在于，综合系统将光电测试部分和多功能探针原子力显微镜有机结合在一起，可以原位、同步、实时测试工作样品的宏观光电性能和微观信息，如电子、离子、极化等微观变化信息。 |
微信公众号