| 显微镜系统、测定方法和记录介质 |
| US15205028 2016-7-8 发明申请 |
| 2017-1-19 |
| 一种显微镜系统包括显微镜装置。 该显微镜装置具有物镜和校正球面像差的校正装置,并获得图像数据。 所述显微镜系统还包括估计器,所述估计器基于放置在所述物镜和观察目标平面之间的介质上的信息来估计在所述显微镜设备中发生的球面像差的量。 所述显微镜系统通过使用根据由所述显微镜装置获得的图像数据计算的对比度值和由所述估计器估计的球面像差量来确定作为所述校正装置的设置值的目标设置值,所述设置值对应于在所述显微镜装置中发生的球面像差量。 |