| 扫描探针显微镜样品表面上的纳米结构的系统映射和测量座 |
| WONL16050517 2016-7-14 发明申请 |
| 2017-1-19 |
| 扫描探针显微镜样品表面上的纳米结构的系统映射，包括计量学框架，传感器头包括探针针尖，和致动器，用于相对于样品表面扫描探针针尖。该系统包括用于夹持的样品，它对计量学框架和固定夹下部设置的传感头。所述局部夹持样品的夹具设置在所述探针吸头下部的夹持区域，在夹持区域的大小小于样品的仅仅一部分如夹样品。此外，用于扫描探针显微镜的计量架所描述的系统包括用于夹持的样品，所述夹具固定在度量如被下面的传感头。 |
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