| 一种大范围原子力显微镜扫描定位装置 |
| CN201620814992.6 2016-7-28 实用新型 |
| 2017-1-18 |
| 本实用新型公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位装置。本实用新型中AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本实用新型构建的AFM扫描定位系统X、Y向的扫描与AFM Z向的反馈控制分离开来，避免了AFM扫描过程产生的XY平面与Z向的非线性交叉耦合误差。 |
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