| 扫描探针显微镜的映射系统，样品的高宽比纳米结构的表面上 |
| EP15176830 2015-7-15 发明申请 |
| 2017-1-18 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜样品表面上的纳米结构的系统映射，所述系统被设置用于感测高纵横比纳米结构，高深宽比纳米结构包含至少一表面具有一斜面与水平面的倾斜角度相对于样品表面超过预定阈值角度，该系统包括计量学框架，支撑结构用于支撑样品的样品，传感器头包括探针，所述探针包括悬臂和探针，并且其中所述扫描探针显微镜系统还包括致动器，用于相对于衬底扫描探针针尖该纳米结构的表面映射，其中，用于感测所述高纵横比纳米结构，所述探针吸头下方设置有一个固定的偏移角相对于所述传感器头以被相对于样品表面，并且其中，所述系统还包括用于接收所述传感器头的传感器头载体，传感器头架和传感器头设置有相互配合形成运动的安装结构具有至少三个接触点安装可拆卸地安装在传感器头的传感器头载体。 |
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