| SIL通过高分辨率光学显微镜 |
| KR1020160126043 2016-9-30 发明授权 |
| 2017-1-13 |
| 本发明涉及硅石粉筒长度和由该施力的多个物镜物镜透镜筒的高分辨率光学显微镜耦合到SIL座固定在，所述的桶体具有气体绝缘的圆形SIL能牢牢的握住中间物镜，SIL物镜筒座的一侧的镜筒固定在所述的内桶制造圆筒形下侧联接气体绝缘锥管形成的环形凸缘与SIL物镜另一侧端部其下端设有锥管，安装方便，所述SIL物镜座上的下模的位置连接法兰的SIL(光轴)的位置(光轴)即靠近光轴调整部构成，所述天线的工作表面紧密接触的测量装置的光轴中心部分，将(SIL3)之间的锥形收缩控制单元，用于校正所述SIL的高分辨率光学显微镜的光轴本发明公开了一种托成型精度。 |
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