| 显微镜 |
| JP2015123381 2015-6-19 发明申请 |
| 2017-1-12 |
| [问题]上测量的样品可在短时间获得所需测量范围的显微镜。光源部(20[a],检测器(240),XY载物台机构10,输入装置92,控制部(91)的显微镜(1),控制部(91),92(1)个输入基于XY载物台机构的控制输入端10输入的测量范围,(1)次测量范围的测定部(1)的第n(94)取得的信息存储在执行采集过程中,第一和第二基于由输入装置92输入的输入信息XY载物台10N的测量行程控制机构,一种第二第一信息采集过程中执行测量的测量范围N,N个(N1)的第一和第二获取的过程中重复测量范围的重叠部分所述量程的测量信息,而不需要即得N,(1)第n测量使用的信息存储在存储器(94)的第一的范围重叠的方法产生n个测量信息。图[图1] |