| 原子力显微镜及其控制方法 |
| WOJP15069552 2015-7-7 发明申请 |
| 2017-1-12 |
| 该原子力显微镜样品(100)之间产生交互作用(103)和探头(101)的自由端设置悬臂(102)的悬臂之间同时进行光栅扫描和样品相对于彼此沿XY平面，以及获取样本信息。原子力显微镜具有 : 一光栅扫描信息生成单元(114)，其产生光栅扫描信息；光栅扫描控制单元(108)，光栅扫描的光栅扫描基础上控制信息；和交互控制单元(111)控制的相互作用的大小的基础上，在光栅扫描信息。交互的交互控制单元将减小大小，在相对所述悬臂之间的相对速度时光栅扫描和样品，沿着xy平面彼此相对降低。 |
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