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检测器的扫描电子显微镜用阴极
RU2016124309 2016-6-20 实用新型
2017-1-10
本发明涉及一种分析设备的阴极设计来研究对象中药物,生物和一些部分,矿物学,材料学。用扫描电子显微镜检测器的阴极由折射透镜,载物台和反射镜。所述镜子位于壳体内侧具有U形台和与之活动连接,所述物镜具有数字孔径小于0.5。本实用新型的技术效果是提供了登记的扫描阴极的现象的基础上,电子显微镜三维物体的厚度,喷出光不透明导电材料,用于光学聚焦驱动载物台显微镜。1供给装置。
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