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高分辨率相关的光源,以及电子显微镜
KR1020150158769 2015-11-12 发明授权
2017-1-6
本发明涉及一种电子束路径上的光路可以被定位在磁场透镜邻近样品可被定向至浇口套与延长部上设置应用分辨精度高分辨率光学显微镜下观察,涉及一种电子融合,各种形式的半透镜,其inlens(半)或利用光之间的空间中设置反射镜样品保持磁场透镜顶部之间的距离,电子显微镜的物镜焦距保持在不大幅增加电子显微图像获取转换。
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