显微镜装置,控制方法和控制程序
 
JP2015118733  2015-6-11  发明申请

2017-1-5
 
  多个期望的聚焦的聚焦位置,即使在[A]的情况下准确检测出的位置显微镜装置,控制方法和控制程序。[解决方法]本发明应用于显微镜装置,两个放置试样的,具有表面活性剂,舞台可沿其移动的光路,所述的镜头特性信息,第第一蓄电部(1)和(2)和移动极限位置时,从样品反射的光的基础上,所述聚焦位置的聚焦位置检测部分检测样品,第一从阶段1的移动极限位置时,1基于第一的焦点位置,第二和至少第一物镜1的聚焦位置,根据所述特征信息改变部分改变该移动限制位置2运动的极限位置,运动极限位置的变化后,一个阶段的行程限制位置移动时沿着光学路径,所述聚焦位置检测单元(2)控制所述第一接口与对应的另一个位置移动控制部。图[图1]
 
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