| 检测背散射电子扫描电子显微镜 |
| JP2015117920 2015-6-11 发明申请 |
| 2017-1-5 |
| [问题]本发明区别于扫描电子显微镜二次电子反射电子检测器。[手段]电子扫描装置，在样品探针，二者施加的电场。反方向上反射的电子从电子射线探针的探针，通过调节强度的电场和磁场取向，所述探针为一“电场施加力的力相互抵消施加到电子”满足以下关系，反射电子的“E施加力的力施加到所述电子倍增器”，以满足磁场的关系可由。反射电子检测器的行进路径远离所述电子束的位置处设置探头可，用于检测从所述的二次电子，反射的电子进行区分。图[图1] |
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