| 一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统 |
| CN201610739903.0 2016-8-26 发明申请 |
| 2017-1-4 |
| 本发明公开了一种用于ICF的掠入射KBA显微镜系统,包括He Ne激光器、组合镜、主镜、靶球和靶室,主镜安装在靶室内,组合镜包括两个聚光镜、两个反射镜、分光镜、和对准物镜,两个聚光镜设置在光纤和靶球,其中一个反射镜靠近一个聚光镜设置,分光镜设置在反射镜的下方,He Ne激光器设置在分光镜的前侧,反射镜设置在分光镜的下方,对准物镜设置在靶球的后侧,对准物镜的两侧分别设置有保护玻璃。本发明采用四块互相垂直的球面反射镜,可以减少彗差,减少视场倾斜,加工成本低、装调简单、实验时间短、不引入额外误差。 |