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扫描探针显微镜的测量方法
US15067628 2016-3-11 发明申请
2016-12-29
一种扫描探针显微镜的测量方法,当探针与待测物体接触时,将探针从第一测量点移动到第二测量点,在第一测量点处的测量结束后,在探针和待测物体之间施加比第一压力弱的压力, 在探头与被测物之间施加第一按压力,直到探头的顶端位置到达距被测物的上表面在深度方向上的第一距离,并且在探头的顶端位置到达距被测物的上表面在深度方向上的第一距离之后,在第二测量点测量被测物的物理性质信息。
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