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显微镜，阴影校正的黑点校正方法，以及程序

JP2015109083 2015-5-28 发明申请

2016-12-28

[问题]样品不因遮光能抑制亮度不均。[解决方案]CCD摄像机(8)，由成像光学系统形成的图像显微镜观察，观察产生图像数据。所述修正单元(42)，基于阴影信息可选自多个遮光，CCD相机(8)观察样品所产生的阴影校正数据。每个所述多个遮蔽信息，不同的参考信息，计算出基于所述数据样本。图[图3]