| 输送阶段的电子显微镜 |
| KR1020150083826 2015-6-15 发明申请 |
| 2016-12-26 |
| 本发明涉及传送阶段涉及搜索的准确性，更具体地，在这种情况下，物镜位于所述的物镜保持被保留在酒真空室，耦合到所述真空室的侧壁和下侧，所述的凹槽为恒形通孔，所述内围壁面真空腔室形成在所述基板内表面的一侧，所述通孔和所述基板上，形成一个封闭的外侧面安装有结构中，所述基板的外表面轴向中的X轴向运动传递到模拟，该运送台上通过开口穿过所述接触表面，所述驱动杆上开有孔和y轴向的轴向运动，所述驱动杆连接到所述真空室的一侧形成的样本显示单元包括与所述上安装基板上，以围绕所述通孔的横截面形状的外侧面安装燕尾凹槽为一O形环，所述O形环中安装O形插入凹槽作为ofit但衬底上放物。根据本发明，如所述，O形真空室之间安装O型圈的横截面为燕尾槽的横截面形状，通过电子显微镜在维持真空的设备和方法，卡车的横截面是最小化连接到机床精度，提高检验准确性等一种或更小。 |
微信公众号