| 用于具有改进的图像束稳定和询问的带电粒子显微镜的方法和系统 |
| US15079046 2016-3-24 发明申请 |
| 2016-12-22 |
| 本发明公开了一种具有改进的图像束稳定性的扫描电子显微镜系统。 该系统包括电子束源和一组电子光学元件，电子束源被配置成产生电子束，电子光学元件将电子束的至少一部分引导到样品的一部分上。 该系统包括发射度分析器组件。 该系统包括分束器元件，该分束器元件被配置为将由样品表面发射的至少一部分二次电子和/或后向散射电子引导到发射度分析器组件。 发射度分析器组件被配置为成像二次电子和/或后向散射电子中的至少一个。 |
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