透射电子显微镜微格栅切割装置
 
US13729425  2012-12-28  发明授权

2016-12-20
 
  提供了一种用于从金属衬底切割微网格的设备。 该装置包括支架和切割模块。 所述支撑件包括支撑表面,所述支撑件被配置成支撑微网格和金属衬底。 所述切割模块包括固定元件、弹簧和切割结构。 固定结构和弹簧位于切割结构中。 所述固定元件配置成将所述微格栅固定在所述支撑表面上。 所述切割结构被配置为从所述金属衬底切割所述微网格。
 
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