| 扫描显微镜 |
| LU92740 2015-6-11 发明申请 |
| 2016-12-12 |
| 本发明涉及一种扫描显微镜(20)，其包括 : 物镜(48)，设置在照明光路(26)，照明光束(24)聚焦到样品(52)；扫描单元(38)，物镜(48)的上游设置在照明光路(26)，用于偏转照明光束(24)以这样一种方式是，将照明光束(24)，冲击波经物镜(48)，样品(52)上执行扫描动作；和检测单元(58)，设置在探测光程(66)，用于接收所述检测光束的扫描单元(54)中没有偏移。用于检测光束光谱的影响(54)，所述检测单元含有至少一种光谱选择组件(10)具有一有源表面(12)具有光谱边缘的位置而变化的检测光的入射束(54)的活性表面(12)上。所述活性表面(12)的光谱可选的部件(10)设置在所述探测光程(66)处物镜光瞳的位置的图像(50)。或者，所述活性表面(12)设置在所述频谱边缘位置，在该位置变化的活性表面；而引起的变化的检测光束的入射角不同角度撞击该主动表面上，所述作为结果产生的变化的照明光束(24)扫描运动，用于至少部分地补偿由所述频谱边缘的相对变化的活性表面(12)，其引起的变化的位置，在该检测的光束(54)的有源表面(12)。 |
微信公众号