| 执行...[]来进行带电粒子显微镜的方法 |
| JP2016080729 2016-4-14 发明申请 |
| 2016-12-8 |
| [问题]利用计算机处理装置,所述样品分解深度图像表达的方法。[解决方法]一种扫描透射电子显微镜,一种带电粒子束照射样品在样品B·S扫描,扫描线通过扫描获得的图像进行透射电检测器输出的函数记录的位置I时,可变光束参数p选择valuen,获取中产生的相关文件,测量组件{(m=中,收集后的Pn)},计算机自动测量相对整体组装后拆卸获得的样本图像上指定深度,空间分解。所述参数P是可变光束的聚光位置,多个扫描探测得到的图像检测器段I,每个扫描向量整合的矢量场图像中来自检测器的输出产生。图[图1] |