| 一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置 |
| CN202210895914.3 2022-7-27 发明申请 |
| 2022-11-15 |
| 本发明涉及光学与材料检测技术领域，公开了一种防微粒飞溅的激光诱导击穿光谱样品分析装置，包括激光发射部件、光谱仪和工作台，还包括检测罩、抽气设备和负压单元，工作台布置在检测罩内，检测罩上设置有用于避让激光的避让口和供发射光谱通过的通光孔，负压单元布置在通光孔与光谱仪之间，负压单元具有与光谱仪的探头同轴以供光谱通过的光谱通道和与光谱通道连通的收缩腔，收缩腔以及检测罩均与抽气设备连通。检测罩和负压单元形成两级负压区域，通过抽气设备抽气对颗粒和粒子分别进行拦截，从而避免颗粒或者粒子阻挡光谱信息，保护探头并减少颗粒附着对探头信号精度的影响，同时还防止其向外扩散进入仪器，提高LIBS的长期稳定性。 |
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