| 扫描探针显微镜 |
| EP16171894 2016-5-30 发明申请 |
| 2016-12-7 |
| 本发明公开了一种扫描探针显微镜，其包括悬臂，一种三维移动的移动机构，在三个维度的样品台，和测量室密封不被暴露到外界空气中。至少所述悬臂，所述样品台，所述三维移动机构收容于所述测量室。所述测量室上设置有一对导轨用于输送样品台。所述样品台具有一个接合部分。所述三维移动机构设置在导轨之间的预定位置的附近。所述三维移动机构可移动到导轨上方和下方的导轨。当样品台在水平方向上输送到预定位置，所述三维移动机构提起所述样品台的底面，使扫描探针显微镜下可以进行测量。 |
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