microscopefar远场的空间分辨测定方法样品视场显微镜和海拔高度信息带
 
DE102015210016  2015-6-1  发明申请

2016-12-1
 
  远场显微镜和方法,用于确定本发明涉及一种空间分辨样品高度信息(14)与远场显微镜。远场显微镜,包括照明光源(1,52,53)设置在照明光路;第第一检测器单元(17,33),用于检测图像在观察远场(p)样品中的路径A水平照射样品(14);调制器,用于调制所述彩色照明光束路径(P)的方向垂直于观察射束样品级还是;评价单元,用于确定色度共焦的远场图像的每个像素的高度信息。所述方法包括以下步骤 : 照射样品(14)与宽带光源(1)照明光束;检测raysillumination路光路或彩色的调制;检测由样品反射或发射的至少一个rayssample远场图像中检测路径,共焦的光的色度比例;逐像素检测的电梯raysfar informationdetection路场图像,通过分析的样品从彩色调制为色度的配比共焦的功能。
 
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