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变轴物镜扫描透射电子显微镜及其检测系统

US14940102 2015-11-12 发明申请

2016-12-1

本发明提供了一种扫描透射电子显微镜(STEM)。在杆中，试样夹在可变轴物镜和可变轴采集透镜之间。收集透镜的轴以协调的方式随着物镜轴的变化而变化。本发明的STEM具有大扫描场、整个扫描场的高图像分辨率、高吞吐量等技术优点。