| 扫描探针显微镜 |
| WOJP15065068 2015-5-26 发明申请 |
| 2016-12-1 |
| 为了提供扫描探针显微镜的可自动调节激光元件的位置和光检测器，扫描探针显微镜(1)具有 : 样品台单元(32)；光源单元(30)；一种悬臂21，悬臂支撑单元(20)的悬臂(21)；在光检测单元31；以及控制单元(40)。扫描探针显微镜1还具有 : 超声波电机或步进电机(30)B，移动光源单元(30)在X和Y方向；和CCD摄像机33)，其取得观察图像。一个悬臂(21)选择从多个被连结到悬臂支撑单元(20)。当悬臂(21)安装在所述悬臂支撑单元(20)，控制部(40)进行光源单元控制步骤，其中，所述控制单元(40)，所观察到的图像的基础上，特征点的位置在悬臂(21)和激光束的辐射的位置，并控制电机(30)，使得所述激光束照射在被照射面。 |
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