| 扫描电子显微镜 |
| JP2015076593 2015-4-3 发明申请 |
| 2016-11-24 |
| 本发明为[要]，连接到扫描电子显微镜的电子能透过的膜可减少污染。本发明为[A]，所述样品室(4)之间设置有可调压力在预定位置2，相对于样品室4为可拆卸的，样品相对于电子枪发射的电子束的电子枪(2)和5份51，51一种用于控制从电子枪发射的电子束的扫描电子显微镜中的一组电子部件(6)上设置有至少1，所述电子发射部分的电子束的电子枪的位置上设置有透光膜，所述电子枪部件偏离电子束通过的焦点位置，其中，所述电子枪(50)的电子发射部分(5)上设置有加热装置(7)上设置有电子透膜56。图[图1] |
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